量子芯片研发的“中国刻刀” 全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
量子芯片研发的“中国刻刀” 全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
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太平洋科技快讯】近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试阶段，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发领域从此有了“中国刻刀”。
据悉，这台新一代 100kV 电子束光刻机依托浙江省重点实验室平台研发，目前已正式投入市场。据研发团队介绍，“羲之”电子束光刻机专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节，通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到 0.6nm，线宽 8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，特别适合芯片研发初期的反复调试。
值得注意的是，此类设备长期受国际出口管制，导致中国科学技术大学、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购。而“羲之”的的落地将有望打破这一困局。更令人欣喜的是，该设备的定价低于国际市场均价，目前已与多家企业与科研机构展开接洽。
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清远市（清城、清新）
宜昌市（宜都市、长阳土家族自治县、🐊当阳市、🍼五峰土家族自治县、西陵区、兴山县、夷陵区、远安县、点军区、枝江市、猇亭区、秭归县、伍家岗区、🥏市辖区）
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巴彦淖尔市（杭锦后旗、磴口县、乌拉特中旗、🦗乌拉特后旗、乌拉特前旗、😵️市辖区、😈临河区、🤔五原县）
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鞍山市：🥙铁东区、铁西区、💖立山区、👎千山区。
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唐山市（丰润区、🕉丰南区、遵化市、🦗迁安市、🌩️开平区、唐海县、⛈滦南县、🈶乐亭县、滦州市、玉田县、♑️迁西县、遵化市、唐山市路南区）
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银川市（永宁县、兴庆区、西夏区、金凤区、🙏贺兰县、灵武市、市辖区）
安康市（宁陕县、🦗白河县、🔱汉阴县、岚皋县、🥕石泉县、✝️市辖区、紫阳县、👏汉滨区、☝旬阳县、镇坪县、🍒平利县）
宜昌市（伍家岗区、西陵区、点军区、🌒猇亭区、👇夷陵区、😩远安县、⚱️兴山县、秭归县、🍆长阳土家族自治县、🥢五峰土家族自治县、🐏宜都市、当阳市、🕎枝江市、🤞虎亭区）
白山市：浑江区、🤜江源区。
赣州市（南康区、🎂章贡区、🐉赣县区、💪信丰县、大余县、上犹县、🌍崇义县、安远县、☘️龙南县、🐸定南县、全南县、宁都县、👿于都县、兴国县、♉️会昌县、寻乌县、石城县、长征镇、沙洲镇、黄冈镇）
绍兴市（越城、柯桥、上虞）
杭州市（临安、💐上城、下城、👵江干、拱野、😿西湖、滨江、余杭）
揭阳市（榕城、😽揭东）
鹰潭市（余江县、市辖区、😽贵溪市、✋月湖区）
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贵州省安顺市（西秀区、🥬平坝区、普定县、镇宁布依族苗族自治县、🍂关岭布依族苗族自治县、😻紫云苗族布依族自治县、💖安顺市、开阳县）
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珠海市（香洲区、斗门区、♓️金湾区、🕥横琴新区、万山区、☝️珠海高新区、🍙唐家湾镇、🈴三灶镇、白石镇、🦓前山镇、😑南屏镇、☹️珠海港镇、金鼎镇）
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通辽市（科尔沁区、🦁扎鲁特旗、♒️开鲁县、霍林郭勒市、市辖区、😹科尔沁左翼中旗、🦁库伦旗、科尔沁左翼后旗、🉑奈曼旗）
桂林市（秀峰区、🕙️象山区、七星区、雁山区、🌥临桂区、🥛阳朔县、资源县、平乐县、灌阳县、☪️荔浦市、灵川县、全州县、😉永福县、✡️龙胜各族自治县、🖐恭城瑶族自治县）：🐂
嘉兴市（海宁市、👉市辖区、💜秀洲区、🦋平湖市、🔪桐乡市、南湖区、🧂嘉善县、海盐县）
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雅安市（汉源县、市辖区、⚡️名山区、😯石棉县、🖐荥经县、宝兴县、天全县、😳芦山县、🌔雨城区）
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